Croissance et caractérisation de films ultra-minces d’oxydes de silicium formes sous bombardement électronique en surface du silicium(100).
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Date
1989
Authors
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Publisher
D BOLMONT
Abstract
Memoire de doctorat en Physique / Option : Physique du solide .
Description
Keywords
ultra-minces, oxydes, silicium, bombardement électronique .